(19)

(11)

EP 2 875 519 A1

(12)

(43) Date de publication: 27.05.2015  Bulletin  2015/22 (21) Numéro de dépôt: 13747450.8 (22) Date de dépôt:  15.07.2013

(51) Int. Cl.:  H01L 21/20(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2013/051688 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/013173 (23.01.2014 Gazette  2014/04)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 17.07.2012 FR 1256898 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: BENAISSA, Lamine F-38610 Gieres (FR) (74) Mandataire: Delorme, Nicolas et al Cabinet Germain & Maureau BP 6153 69466 Lyon Cedex 06 69466 Lyon Cedex 06 (FR)