(19)

(11)

EP 2 877 790 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.03.2014 (43) Veröffentlichungstag: 03.06.2015  Patentblatt  2015/23 (21) Anmeldenummer: 13728188.7 (22) Anmeldetag:  11.06.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F24J 2/52(2006.01) H01L 31/042(2014.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/062042 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/186217 (19.12.2013 Gazette  2013/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 12.06.2012 DE 102012105053 (71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: WARSCHATKA, Andreas 61197 Florstadt (DE) (74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert  Patentanwalt Friedrich-Ebert-Anlage 11b 63450 Hanau 63450 Hanau (DE)