(19)
(11) EP 2 877 812 A1

(12)

(43) Date de publication:
03.06.2015  Bulletin  2015/23

(21) Numéro de dépôt: 13753590.2

(22) Date de dépôt:  26.07.2013
(51) Int. Cl.: 
G01B 11/06(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2013/065827
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2014/016416 (30.01.2014 Gazette  2014/05)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 26.07.2012 FR 1257234

(71) Demandeur: Institut Pierre Vernier
25000 Besancon (FR)

(72) Inventeurs:
  • PONCOT, Jean-Claude
    F-25000 Besancon (FR)
  • BALLANDRAS, Sylvain
    F-25000 Besancon (FR)
  • LEBRASSEUR, Eric
    F-25000 Besancon (FR)
  • BARON, Thomas
    F-25000 Besancon (FR)

(74) Mandataire: Esselin, Sophie et al
Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble Visium 22, Avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE DETERMINATION D'UN ENSEMBLE DE DONNEES SPATIALES D'EPAISSEUR D'UNE COUCHE MINCE A LA SURFACE D'UN SUBSTRAT, PAR MESURE D'EMISSION INFRA-ROUGE