(19)
(11) EP 2 883 242 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.06.2015  Patentblatt  2015/25

(21) Anmeldenummer: 12750530.3

(22) Anmeldetag:  10.08.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/50(2006.01)
H01L 23/10(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/003424
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/023320 (13.02.2014 Gazette  2014/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(71) Anmelder: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
30167 Hannover (DE)

(72) Erfinder:
  • WURZ, Marc, Christopher
    30629 Hannover (DE)
  • RISSING, Lutz
    30499 Hannover (DE)
  • ZIMMERMANN, Stefan
    30938 Burgwedel (DE)
  • COCHEMS, Philipp
    27238 Verden (Aller) (DE)

(74) Vertreter: Friedrich, Andreas et al
Gramm, Lins & Partner Theodor-Heuss-Straße 1
38122 Braunschweig
38122 Braunschweig (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HERMETISCH ABGESCHLOSSENEN GEHÄUSES