(19)
(11) EP 2 883 247 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.06.2015  Patentblatt  2015/25

(21) Anmeldenummer: 13745646.3

(22) Anmeldetag:  02.08.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0224(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/066328
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/023668 (13.02.2014 Gazette  2014/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 10.08.2012 DE 102012214254

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NEKARDA, Jan
    79194 Gundelfingen (DE)
  • RODOFILI, Andreas
    79104 Freiburg (DE)
  • BRAND, Andreas
    79106 Freiburg (DE)
  • GRAF, Martin
    79232 March-Hugstetten (DE)
  • PREU, Ralf
    79117 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte Partnerschaft mbB 
Bismarckstraße 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) LASERBASIERTES VERFAHREN UND BEARBEITUNGSTISCH ZUR LOKALEN KONTAKTIERUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS