(19)
(11) EP 2 885 819 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
26.06.2014

(43) Veröffentlichungstag:
24.06.2015  Patentblatt  2015/26

(21) Anmeldenummer: 13752615.8

(22) Anmeldetag:  16.08.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0216(2014.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/067108
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/027075 (20.02.2014 Gazette  2014/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 16.08.2012 DE 102012016298

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80636 Munich (DE)

(72) Erfinder:
  • WOLKE, Winfried
    79112 Freiburg (DE)
  • WAGNER, Florian
    79100 Freiburg (DE)
  • KRUGEL, Georg
    79106 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 11a
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) HALBLEITERBAUELEMENT MIT EINER PASSIVIERUNGSSCHICHT AUS HYDRIERTEM ALUMINIUMNITRID SOWIE VERFAHREN ZUR OBERFLÄCHENPASSIVIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN