(19)
(11) EP 2 889 481 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.10.2015  Patentblatt  2015/42

(43) Veröffentlichungstag A2:
01.07.2015  Patentblatt  2015/27

(21) Anmeldenummer: 14192137.9

(22) Anmeldetag:  06.11.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 35/04(2006.01)
F04B 37/16(2006.01)
F04B 51/00(2006.01)
 F04B 37/14(2006.01)
F04B 43/04(2006.01)
F04B 45/047(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 03.12.2013 DE 102013113351

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Aßlar (DE)

(72) Erfinder:
  • Conrad, Armin
    35745 Herborn (DE)
  • Oberbeck, Sebastian
    35781 Weilburg (DE)
  • Söhngen, Swen
    35647 Kröffelbach (DE)
  • Vorwerk, Peter
    35630 Ehringshausen (DE)

(74) Vertreter: Knefel, Cordula 
Wertherstrasse 16
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)

   


(54) Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe


(57) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie eine Membranvakuumpumpe zur Förderung eines Mediums, mit einem mit einem Schwingspulenantrieb linear antreibbaren Kolben in einem Antriebsraum, mit einer zwischen einem Förderraum und Antriebsraum schwingenden Membran, die den Förderraum und den Antriebsraum trennt, mit einem Membrankopf, der mit der Membran den Förderraum bildet, wobei der Kolben als ein die Membran in Bewegung versetzender und um eine vorbestimmte Wegstrecke bewegbarer Kolben ausgebildet ist, mit einer Vorrichtung zur Erfassung eines Totpunktes und/oder Position des Kolbens, bei dem eine Steuervorrichtung den Totpunkt in Abhängigkeit von dem erfassten Signal der Vorrichtung verstellt.







Recherchenbericht









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