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EP 2 898 123 A1

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(43) Date de publication: 29.07.2015  Bulletin  2015/31 (21) Numéro de dépôt: 13798753.3 (22) Date de dépôt:  23.09.2013

(51) Int. Cl.:  C30B 23/02(2006.01) C30B 25/10(2006.01) C30B 25/20(2006.01) C30B 29/06(2006.01) C23C 16/513(2006.01) H01L 31/18(2006.01) C30B 23/06(2006.01) C30B 25/18(2006.01) C30B 28/14(2006.01) C23C 16/24(2006.01) H01L 21/205(2006.01) H01L 21/02(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/IB2013/058770 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/045252 (27.03.2014 Gazette  2014/13)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 24.09.2012 FR 1258913 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BENMANSOUR, Malek F-73000 Chambery (FR) GARANDET, Jean-Paul F-73370 Le Bourget Du Lac (FR) MORVAN, Daniel F-75005 Paris (FR) (74) Mandataire: Nony  3, rue de Penthièvre 75008 Paris 75008 Paris (FR)