(19)
(11) EP 2 901 214 A1

(12)

(43) Date de publication:
05.08.2015  Bulletin  2015/32

(21) Numéro de dépôt: 13766352.2

(22) Date de dépôt:  25.09.2013
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/20(2006.01)
G02B 27/09(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2013/069984
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2014/049001 (03.04.2014 Gazette  2014/14)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 25.09.2012 FR 1259004

(71) Demandeurs:
  • SAGEM DEFENSE SECURITE
    92100 Boulogne Billancourt (FR)
  • Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd.
    Shanghai 201203 (CN)

(72) Inventeurs:
  • PLAINCHAMP, Bertrand
    F-92100 Boulogne-Billancourt (FR)
  • MERCIER YTHIER, Renaud
    F-92100 Boulogne-Billancourt (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) ILLUMINATEUR DE DISPOSITIF DE PHOTOLITHOGRAPHIE PERMETTANT LA DIFFRACTION CONTROLEE