(19)
(11) EP 2 903 017 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.10.2015  Patentblatt  2015/43

(43) Veröffentlichungstag A2:
05.08.2015  Patentblatt  2015/32

(21) Anmeldenummer: 15000240.0

(22) Anmeldetag:  27.01.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 33/04(2006.01)
G21K 5/00(2006.01)
H01J 33/02(2006.01)
G21K 5/10(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 02.02.2014 DE 102014001342

(71) Anmelder: Crosslinking AB
3244 Halmstad (SE)

(72) Erfinder:
  • Bengt, Laurell
    SE-30594 Halmstad (SE)
  • Föll, Eberhard
    72147 Nehren (DE)

(74) Vertreter: Lehmann, Horst Michael 
Giselastrasse 28
80802 München
80802 München (DE)

   


(54) Stützkonstruktion mit schräg verlaufenden Kühlkanälen für ein Elektronenaustrittsfenster


(57) Es wird eine Elektronenstrahleinheit beschrieben, die dazu ausgelegt ist, ein flächig ausgedehntes Bestrahlungsfeld zur Elektronenbestrahlung von Bestrahlungsgut zu erzeugen. Das Bestrahlungsgut ist in einer vorgegebenen Transportrichtung durch das Bestrahlungsfeld führbar, und das Bestrahlungsfeld erstreckt sich über eine Bestrahlungsbreite quer zur Transportrichtung. Die Elektronenstrahleinheit umfasst eine Heizkathodenanordnung zur Erzeugung von Elektronen, mindestens ein Gitterelement, das dazu vorgesehen ist, die Elektronen von der Heizkathodenanordnung abzuziehen, zu verteilen und zu beschleunigen, sowie ein Elektronenaustrittsfenster, aus dem die Elektronen nach der Beschleunigung austreten. Das Elektronenaustrittsfenster umfasst eine Stützkonstruktion, wobei innerhalb der Stützkonstruktion eine Mehrzahl von parallel zueinander angeordneten Kühlkanälen zur Kühlung der Stützkonstruktion verlaufen. Die Kühlkanäle sind relativ zur Transportrichtung um einen vorgegebenen Winkel verdreht ausgerichtet, wodurch sich ein schräger Verlauf der Kühlkanäle relativ zur Transportrichtung ergibt.







Recherchenbericht















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