(19)
(11) EP 2 907 174 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.08.2015  Patentblatt  2015/34

(21) Anmeldenummer: 13791734.0

(22) Anmeldetag:  09.10.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/56(2006.01)
 G01R 31/26(2014.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/003038
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/180491 (13.11.2014 Gazette  2014/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 09.10.2012 DE 102012019779

(71) Anmelder: CreaPhys GmbH
01257 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • DRECHSEL, Jens
    01309 Dresden (DE)
  • TROGISCH, Sven
    01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB 
Akademiestraße 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) UNTERSUCHUNGSVORRICHTUNG UND -VERFAHREN ZUR ERFASSUNG VON EIGENSCHAFTEN EINES MATERIALS IN EINER BAUELEMENT-PROBE