(19)
(11) EP 2 908 614 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
22.02.2017  Patentblatt  2017/08

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
21.12.2016  Patentblatt  2016/51

(21) Anmeldenummer: 15154198.4

(22) Anmeldetag:  06.02.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05K 13/08(2006.01)

(54)

Optisches Vermessen eines Bauelementes mit an gegenüberliegenden Seiten vorhandenen strukturellen Merkmalen

Optical measuring of a component with structural features on opposing sides

Mesure optique d'un composant présentant des caractéristiques structurales sur des côtés opposés

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 14.02.2014 DE 102014101901

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
19.08.2015  Patentblatt  2015/34

(73) Patentinhaber: ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG
81379 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Heilmann, Norbert
    81673 München (DE)

(74) Vertreter: Dilg, Haeusler, Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH 
Leonrodstrasse 58
80636 München
80636 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A2- 1 003 212
US-A1- 2011 293 168
 JP-A- 2013 077 648
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).