(19)
(11) EP 2 913 534 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.09.2015  Patentblatt  2015/37

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.09.2015  Patentblatt  2015/36

(21) Anmeldenummer: 15152122.6

(22) Anmeldetag:  22.01.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
 F04D 29/60(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 28.02.2014 DE 102014102680

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Watz, Robert
    35781 Weilburg (DE)
  • Hofmann, Jan
    35305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) Vakuumpumpenanordnung


(57) Vakuumpumpenanordnung, insbesondere Turbomolekularpumpenanordnung, mit einer einen Rotor, einen Stator sowie ein Gehäuse umfassenden Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, die über wenigstens ein Verbindungselement (18) mit einer Vakuumkammer verbindbar ist, wobei das Verbindungselement (18) mit einem dem Pumpengehäuse zugeordneten Pumpenflansch in Eingriff bringbar und an einem der Vakuumkammer zugeordneten Gegenflansch (20) fixierbar ist. Das Verbindungselement (18) mit wenigstens einem Zahn (22) versehen ist, der bei an dem Gegenflansch (20) fixiertem Verbindungselement (18) zu dessen Sicherung gegen ein Verdrehen in den Gegenflansch (20) eingedrückt ist oder in eine in dem Gegenflansch (20) vorgesehene Aufnahmevertiefung eingreift.







Recherchenbericht









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