(19)

(11)

EP 2 917 714 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.09.2015  Patentblatt  2015/38 (21) Anmeldenummer: 13788995.2 (22) Anmeldetag:  08.11.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01M 3/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/073396 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/072470 (15.05.2014 Gazette  2014/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 09.11.2012 DE 102012220483 (71) Anmelder: Inficon GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: NELLES, Ralf 50171 Kerpen (DE) (74) Vertreter: Von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patentanwälten und Rechtsanwälten mbB  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)