(19)
(11) EP 2 929 759 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.10.2015  Patentblatt  2015/42

(21) Anmeldenummer: 13795530.8

(22) Anmeldetag:  27.11.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/36(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/074851
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/086636 (12.06.2014 Gazette  2014/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 04.12.2012 EP 12195367

(71) Anmelder: Oerlikon Metco AG, Wohlen
5610 Wohlen (CH)

(72) Erfinder:
  • LIECHTI, Florian
    CH-5616 Meisterschwanden (CH)
  • FRIEDERY, Albert
    CH-8267 Berlingen (CH)
  • KOSCHNITZKE, Hartmut
    CH-8406 Winterthur (CH)
  • GRÖBER, René
    CH-5606 Dintikon (CH)

(74) Vertreter: Intellectual Property Services GmbH 
Langfeldstrasse 88
8500 Frauenfeld
8500 Frauenfeld (CH)

   


(54) VERFAHREN UND STEUERUNGSEINRICHTUNG ZUM BETRIEB EINER PLASMAERZEUGUNGSEINRICHTUNG