(19)

(11)

EP 2 931 933 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.10.2015  Patentblatt  2015/43 (21) Anmeldenummer: 14702468.1 (22) Anmeldetag:  20.01.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/050978 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/114577 (31.07.2014 Gazette  2014/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 22.01.2013 EP 13152231 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: FELKEL, Mario 10115 Berlin (DE) KYECK, Sascha Martin 14197 Berlin (DE) RICHTER, Johannes 10559 Berlin (DE)