(19)
(11) EP 2 933 497 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.12.2015  Patentblatt  2015/49

(43) Veröffentlichungstag A2:
21.10.2015  Patentblatt  2015/43

(21) Anmeldenummer: 15159512.1

(22) Anmeldetag:  17.03.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 17.04.2014 DE 102014105582

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Stoll, Tobias
    35644 Hohenahr (DE)
  • Hofmann, Jan
    35305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) Vakuumpumpe


(57) Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst wenigstens einen Pumpmechanismus (124) zum Pumpen von Gas längs eines von einem Haupteinlass (70) zu einem Auslass für das Gas verlaufenden Pumpkanals (10) und ist dadurch gekennzeichnet, dass der Pumpmechanismus derart ausgebildet ist, dass ein erster pumpwirksamer Abschnitt (136) des Pumpmechanismus, der stromaufwärts bezüglich eines zweiten pumpwirksamen Abschnitts (138) des Pumpmechanismus vorgesehen ist, ein höheres Kompressionsvermögen als der zweite pumpwirksame Abschnitt aufweist, und/oder dass der Pumpmechanismus derart ausgebildet ist, dass der zweite pumpwirksame Abschnitt ein höheres Saugvermögen als der erste pumpwirksame Abschnitt aufweist.







Recherchenbericht









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