(57) Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst wenigstens einen Pumpmechanismus
(124) zum Pumpen von Gas längs eines von einem Haupteinlass (70) zu einem Auslass
für das Gas verlaufenden Pumpkanals (10) und ist dadurch gekennzeichnet, dass der
Pumpmechanismus derart ausgebildet ist, dass ein erster pumpwirksamer Abschnitt (136)
des Pumpmechanismus, der stromaufwärts bezüglich eines zweiten pumpwirksamen Abschnitts
(138) des Pumpmechanismus vorgesehen ist, ein höheres Kompressionsvermögen als der
zweite pumpwirksame Abschnitt aufweist, und/oder dass der Pumpmechanismus derart ausgebildet
ist, dass der zweite pumpwirksame Abschnitt ein höheres Saugvermögen als der erste
pumpwirksame Abschnitt aufweist.
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