(19)
(11) EP 2 935 645 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.10.2015  Patentblatt  2015/44

(21) Anmeldenummer: 13753307.1

(22) Anmeldetag:  16.08.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/067150
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/037212 (13.03.2014 Gazette  2014/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 05.09.2012 DE 102012108250

(71) Anmelder: Spawnt Private S.à.r.l.
1148 Luxembourg (LU)

(72) Erfinder:
  • AUNER, Norbert
    61479 Glashütten (DE)
  • BAUCH, Christian
    06774 Muldestausee - Muldenstein (DE)
  • DELTSCHEW, Rumen
    04319 Leipzig (DE)
  • HOLL, Sven
    65558 Gückingen (DE)
  • MOHSSENI, Javad
    04105 Leipzig (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Schloßschmidstraße 5
80639 München
80639 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMSCHICHTEN