(19)

(11)

EP 2 935 887 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.10.2015  Patentblatt  2015/44 (21) Anmeldenummer: 13805822.7 (22) Anmeldetag:  06.12.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04B 37/14(2006.01) F04B 41/06(2006.01) F04B 37/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/075835 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/095432 (26.06.2014 Gazette  2014/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 22.12.2012 DE 202012012359 U (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: SCHILLER, Dirk 50354 Hürth (DE) SCHNEIDENBACH, Daniel 50937 Köln (DE) DREIFERT, Thomas 50171 Kerpen (DE) (74) Vertreter: Von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patentanwälten und Rechtsanwälten mbB  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)