(19)
(11) EP 2 936 249 A1

(12)

(43) Date de publication:
28.10.2015  Bulletin  2015/44

(21) Numéro de dépôt: 13818313.2

(22) Date de dépôt:  16.12.2013
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/32(2006.01)
G03F 7/00(2006.01)
C08L 53/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2013/053102
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2014/096662 (26.06.2014 Gazette  2014/26)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 21.12.2012 FR 1262610

(71) Demandeurs:
  • Arkema France
    92700 Colombes (FR)
  • Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
    75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • NAVARRO, Christophe
    F-64100 Bayonne (FR)
  • ARGOUD, Maxime
    F-38110 La Chapelle de la Tour (FR)
  • CHEVALIER, Xavier
    F-38100 Grenoble (FR)
  • TIRON, Raluca
    F-38950 Saint-Martin-Le-Vinoux (FR)
  • GHARBI, Ahmed
    F-38000 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Fragnaud, Aude 
API Conseil Rue Marx Dormoy B.P. 7525
64075 Pau Cedex
64075 Pau Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE MASQUE DE NANOLITHOGRAPHIE