(19)

(11)

EP 2 938 762 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.11.2015  Patentblatt  2015/45 (21) Anmeldenummer: 13821068.7 (22) Anmeldetag:  18.12.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C30B 31/04(2006.01) C23C 18/32(2006.01) H01L 21/48(2006.01) C09D 183/00(2006.01) H01L 21/225(2006.01) H01L 31/18(2006.01) C23C 18/12(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 31/0216(2014.01) H01L 21/22(2006.01) H01L 31/0288(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/003837 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/101988 (03.07.2014 Gazette  2014/27)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 28.12.2012 EP 12008660 10.12.2013 EP 13005736 (71) Anmelder: Merck Patent GmbH 64293 Darmstadt (DE)	(72) Erfinder: KOEHLER, Ingo 64354 Reinheim (DE) DOLL, Oliver 63128 Dietzenbach (DE) BARTH, Sebastian 64291 Darmstadt (DE)