ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*JBDM Ver 1.7.2 (20 November 2019) - 2999001/02939256CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120210317W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP13867455.1201312302015072820200203enenen201261747703 P20121231US20131414181220131227US2021031720211120151104201545202101132021022020100720210317202111H01L 21/677 20060101AFI20160816BHEP deSYSTEM UND VERFAHREN ZUR BEREITSTELLUNG VON WAFERZUGANG IN EINEM SONDENSYSTEMenSYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING WAFER ACCESS IN A PROBE SYSTEMfrSYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR FOURNIR UN ACCÈS DE PLAQUETTE DANS UN SYSTÈME DE SONDESUS-A- 5 672 239US-A1- 2003 198 541US-A1- 2005 012 515US-B1- 6 202 31820160822FEHRMANN, FrankGaevernitzer Strasse 1201561 Priestewitz Ot BasslitzDEHIRSCHFELD, BothoBergsiedlung 32C01108 DresdenDEKANEV, StojanWiesenweg 501561 Thiendorf Ot SackaDEFormFactor Beaverton, Inc.101781712CDW/2074.01/C9100 S.W. Gemini DriveBeaverton OR 97008USWillett, Christopher Davidet al101489986Nash Matthews LLP 24 Hills RoadCambridge CB2 1JPGBALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRUS201307822220131230enWO201410615420140703201427