(19)
(11) EP 2 945 908 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.11.2015  Patentblatt  2015/48

(21) Anmeldenummer: 14700836.1

(22) Anmeldetag:  13.01.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 33/035(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/050437
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/111326 (24.07.2014 Gazette  2014/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 17.01.2013 DE 102013200660

(71) Anmelder: Wacker Chemie AG
81737 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MÜLLER, Barbara
    84508 Burgkirchen (DE)
  • KOCH, Thomas
    84489 Burghausen (DE)

(74) Vertreter: Potten, Holger et al
Wacker Chemie AG Zentralbereich Patente, Marken und Lizenzen Hanns-Seidel-Platz 4
81737 München
81737 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON POLYKRISTALLINEM SILICIUM