(19)

(11)

EP 2 948 976 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.12.2015  Bulletin  2015/49 (21) Numéro de dépôt: 14704610.6 (22) Date de dépôt:  22.01.2014

(51) Int. Cl.:  H01L 21/20(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2014/050116 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/114876 (31.07.2014 Gazette  2014/31)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 22.01.2013 FR 1350568 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: FOURNEL, Frank F-38190 Villard-Bonnot (FR) MARTIN-COCHER, Chloé F-38600 Fontaine (FR) (74) Mandataire: Delorme, Nicolas et al Cabinet Germain & Maureau BP 6153 69466 Lyon Cedex 06 69466 Lyon Cedex 06 (FR)