Vakuumpumpe

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einer ein- oder mehrstückigen Welle gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

[0002] Vakuumpumpen, insbesondere Wälzkolbenvakuumpumpen sind aus vielen industriellen Anwendungen nicht mehr wegzudenken. Beispielhaft seien für diese Anwendungen Metallurgie, Vakuumtrocknung und Chemietechnik genannt.

[0003] Der Grundaufbau dieser Wälzkolbenvakuumpumpen sieht vor, zwei Wellen gegenläufig mit gleicher Drehzahl zu betreiben. Dies wird beispielsweise durch ein mechanisches Synchrongetriebe gewährleistet. Auf diesen Wellen sind Kolben vorgesehen, die zusammenwirken, Gasvolumina einschließen und vom Pumpeneinlass zum Pumpenauslass transferieren.

[0004] Zum Stand der Technik (DE 10 2008 060 540 A1) gehört eine Wälzkolbenvakuumpumpe, die einen Schöpfraum mit zwei sich gegeneinander drehenden Kolben aufweist sowie zwei Lagerräume, in denen Lager zur drehbaren Lagerung wenigstens einer Welle vorgesehen sind.

[0005] Die zum Stand der Technik gehörenden Wälzkolbenvakuumpumpen verfügen üblicherweise über zwei Rotoren, deren Wellen auf beiden Seiten gelagert sind. Die pumpwirksamen Kolben, die Teil des Rotors sind, drehen sich dabei im Schöpfraum und sind räumlich von der Lagerung getrennt. Die Ausführung der Wellendurchführung und ihre Abdichtung zwischen Schöpfraum und Lagerraum ist für diese Pumpen dabei von hoher Bedeutung. Sie bestimmt unter anderem die eingebrachte Reibungswärme und die sich einstellende Betriebs- und Öltemperatur. Je nach Ausführung unterscheidet sich der erreichbare Enddruck und die Dauer, bis die Pumpe diesen erreicht. Eine korrekte Abdichtung schützt das Betriebsmittel vor Prozessgas, mitgeförderten Verunreinigungen und verhindert die Anreicherung von Kondensat. Damit bestimmen diese Faktoren maßgeblich die Lebensdauer der Pumpe und die Kundenzufriedenheit.

[0006] Aus der Praxis sind Kolbenringdichtungen bekannt, die im Bereich der Wellendurchführung angeordnet sind. Kolbenringdichtungen weisen jedoch den Nachteil auf, dass Verunreinigungen in dem zu fördernden Gas, beispielsweise Staubpartikel, die Kolbenringdichtungen beschädigen. In dem zu fördernden Medium, welches sich im Schöpfraum befindet, sind häufig Gase enthalten, die Schmiermittel verändern und die eventuell Staubpartikel mit sich führen. Darüber hinaus ist in den zu fördernden Medien häufig Kondensat enthalten. Durch diese Stoffe verändern sich die Schmiermittel chemisch, wodurch diese nach relativ kurzer Zeit getauscht werden müssen, wodurch es wiederum zu einem Betriebsausfall der Pumpe kommt.

[0007] Zum Stand der Technik (DE 195 44 994 A1) gehört eine Mehrwellenvakuumpumpe, mit der eine wirkungsvolle Abdichtung zwischen Getriebe, beziehungsweise Lagerräumen und Schöpfräumen erzielt werden soll. Diese Pumpe sieht zwei Lippendichtungen vor, so dass die Lippen der einen Dichtung in Richtung Schöpfraum und die Lippen der anderen Dichtung in Richtung Getriebe beziehungsweise Lagerraum weisen. Hierdurch ergeben sich eine Reihe von Vorteilen, beispielsweise dass Verschmutzungen in den Ecken, Hinterschneidungen und Vertiefungen im unmittelbaren Dichtbereich der Dichtungen durch Ansammeln von Stoffen aus dem Schöpfraum und aus dem Getriebe, beziehungsweise Lagerraum vermieden werden. Diese zum Stand der Technik gehörende Dichtungsanordnung kann weiter verbessert werden.

[0008] Weiterhin gehört zum Stand der Technik (EP 0 859 154 A1) ein Schraubenverdichter mit einer Wellenabdichtung. Der Schraubenverdichter sieht ebenfalls zwei Lippendichtungen vor. Zwischen den Lippendichtungen ist ein Gaseinlass vorgesehen. Beidseitig neben den Lippendichtungen ist jeweils eine Spiraldichtung angeordnet. Die beiden Lippendichtungen mit dem Sperrgaseinlass dazwischen haben die Aufgabe, Öl, welches zum Schmieren eines Kugellagers auf der einen Seite, und ein Fluid, beispielsweise Wasser, welches zum Schmieren des Rotors auf der anderen Seite dient, voneinander zu trennen, damit sich das Öl nicht mit dem Wasser vermischt. Diese Dichtungsanordnung weist vier Dichtelemente auf und ist aus diesem Grunde sehr aufwendig.

[0009] Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, eine Vakuumpumpe anzugeben, bei der eine Abdichtung der Wellendurchführung vorgesehen ist, die unempfindlich gegen Gase, die Schmiermittel verändern, Staubpartikel und/oder Kondensat ist.

[0010] Dieses technische Problem wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 gelöst.

[0011] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe mit wenigstens einer ein- oder mehrstückigen Welle, welche mit wenigstens einer Lageranordnung drehbar gelagert ist, einem Schöpfraum und einem Lager- oder Getrieberaum zur Anordnung der wenigstens einen Lageranordnung mit einer Dichtungsanordnung zur Durchführung der ein- oder mehrstückigen Welle zwischen Schöpfraum und Lager- oder Getrieberaum, wobei die Dichtungsanordnung zur Durchführung der wenigstens einen ein- oder mehrstückigen Welle eine erste Dichtung aufweist, die als Lippendichtung ausgebildet ist, wobei eine zweite Dichtungsanordnung vorgesehen ist, zeichnet sich dadurch aus, dass in dem Raum zwischen der ersten Lippendichtung und der zweiten Dichtungsanordnung ein Sperrgaseinlass vorgesehen ist und dass die zweite Dichtungsanordnung wenigstens eine Kolbenringdichtung aufweist.

[0012] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist den Vorteil auf, dass die Lippendichtung minimale Spalte mit hohem Drosseleffekt für das Sperrgas aufweist, das heißt einen geringen Sperrgasstrom trotz eines hohen Druckes gestattet.

[0013] Die erfindungsgemäße Anordnung weist den Vorteil auf, dass die Lippendichtung eine gute Abdichtung gegen Staubpartikel, Kondensat und Gase gewährleistet. Kolbenringdichtungen, beispielsweise in Rechteckform arbeiten relativ unabhängig von der Drehzahl und gestatten einen im Vergleich zur Lippendichtung schnelleren Druckausgleich (geringerer Drosseleffekt). Darüber hinaus verfügen diese Ringdichtungen über Notlaufeigenschaften und arbeiten verschleißarm und sie haben weniger Wärmeeintrag und eine geringere Leistungsaufnahme.

[0014] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist den Vorteil auf, dass gegenüber dem Stand der Technik eine bessere Abdichtung durch höhere Sperrgasdrücke in Folge eines erhöhten Drosseleffektes erzielt wird. Dadurch, dass ein Sperrgaseinlass zwischen der ersten Lippendichtung und der zweiten Dichtungsanordnung vorgesehen ist, kann dieser relativ kleine Raum mit Sperrgas gefüllt werden. Der Sperrgasbedarf ist gegenüber dem Stand der Technik verringert, da gemäß dem Stand der Technik in der Regel der gesamte Lagerraum mit Sperrgas gefüllt wurde.

[0015] Trotz eines minimalen Sperrgasstroms in Richtung Schöpfraum erhält man einen verbesserten Enddruck des Pumpstandes. Darüber hinaus erfolgt lediglich eine minimale Verdünnung oder Verunreinigung des Prozessgases mit Sperrgas, insbesondere wenn gemäß einer bevorzugten Ausführungsform die erste Lippendichtung schöpfraumseitig angeordnet ist.

[0016] Wie schon ausgeführt, arbeiten die Kolbenringdichtungen, beispielsweise Rechteckringe relativ unabhängig von der Drehzahl und verfügen über Notlaufeigenschaften.

[0017] Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung besteht die zweite Dichtungsanordnung aus zwei Kolbenringdichtungen. Zwei Kolbenringdichtungen weisen gegenüber einer Kolbenringdichtung den Vorteil auf, dass die Dichtwirkung verbessert ist.

[0018] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Kolbenringdichtungen nebeneinanderliegend mit Abstand zueinander angeordnet sind. Durch diese Ausführungsform ist ein ausreichender Dichteffekt erzielbar.

[0019] Wie schon ausgeführt, ist es vorteilhaft, wenn die Lippenrichtung schöpfraumseitig angeordnet ist. Hierdurch ist gewährleistet, dass Verunreinigungen in dem zu fördernden Medium, welches sich im Schöpfraum befindet, nicht in den Dichtungsraum oder in Richtung Lager- oder Getrieberaum gelangen. Hierdurch wird Schmiermittel im Lager- oder Getrieberaum nicht oder nicht so schnell verunreinigt, so dass das Schmiermittel eine längere Lebensdauer aufweist.

[0020] Die zweite Dichtungsanordnung ist vorteilhaft lagerraumseitig angeordnet. Diese Dichtungsanordnung dient in erster Linie dazu, einen relativ kleinen Zwischenraum mit dem Sperrgaseinlass zu bilden, so dass nicht der gesamte Lager- oder Getrieberaum mit Sperrgas gefüllt werden muss. Ist der gesamte Lager- oder Getrieberaum mit Sperrgas zu füllen, wie es gemäß dem Stand der Technik vorgesehen ist, ist der Verbrauch an Sperrgas sehr hoch.

[0021] Das hinter der Lippendichtung angeordnete Sperrgas baut in Richtung des Schöpfraumes einen Druck auf, so dass aus dem Schöpfraum weniger Gas in Richtung Lagerraum wandert. Die Lippendichtung ist vorteilhaft derart angeordnet, dass durch einen höheren Druck im Schöpfraum die Lippendichtung gegen die Welle oder eine Buchse auf der Welle gedrückt wird.

[0022] Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist eine Lippe der Lippendichtung in Richtung Schöpfraum weisend angeordnet. Hierdurch wird erreicht, dass bei einem höheren Druck im Schöpfraum gegenüber dem Raum mit dem Sperrgas die Lippendichtung gegen Welle oder Buchse gedrückt wird und hierdurch die Drosselwirkung erhöht wird.

[0023] Eine mögliche Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Welle oder die Buchse wenigstens im Bereich der Anlage der Lippendichtung beschichtet ist. Hierdurch besteht die Möglichkeit, die Reibung zwischen Welle oder Buchse und der Lippendichtung zu verringern, so dass weniger Wärme erzeugt wird.

[0024] Die Lippendichtung weist den Vorteil auf, dass sie prozessgasdicht durch das Sperrgas wird. Der Sperrgasstrom kühlt darüber hinaus die Lippendichtung, die sich im Betrieb durch die Reibung erhitzt.

[0025] Mit der erfindungsgemäßen Anordnung ist es möglich, die Sperrgasmenge auf circa ein Zehntel im Vergleich zum Stand der Technik oder noch weniger zu reduzieren.

[0026] Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass eine Gegenlauffläche der Lippendichtung einen Drall aufweist. Hierdurch wird eine entsprechende Gasströmung erzielt, so dass die Drosselwirkung der Lippendichtung noch verstärkt wird.

[0027] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe ist vorteilhaft als Wälzkolbenpumpe ausgebildet. Die Erfindung ist jedoch auch bei anderen Pumpen, beispielsweise bei Turbomolekularpumpen oder dergleichen, einsetzbar. Einsatzgebiete sind Wellendurchführungen durch Schöpfraum und Lagerraum.

[0028] Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung, in der mehrere Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe mit Wellendurchführung nur beispielhaft dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1

einen Schnitt durch eine Wälzkolbenvakuumpumpe;

Fig. 2

einen Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Wellendurchführung.

[0029] Fig. 1 zeigt eine Wälzkolbenvakuumpumpe mit einem Gehäuse 1. Im Gehäuse 1 der Vakuumpumpe 100 befindet sich ein Pumpraum 2. Der Pumpraum 2 wird von einer ersten Welle 10 und einer zweiten Welle 14 durchsetzt. Von Wellenachsen ist der Pumpraum durch ein erstes Lagerschild 4 und ein zweites Lagerschild 5 begrenzt. In dem Bereich der Wellen 10, 14, der den Pumpraum 2 durchsetzt, sind ein erster Kolben 12 mit der ersten Welle 10 und ein zweiter Kolben 16 mit der zweiten Welle 14 verbunden.

[0030] Beide Wellen 10, 14 stützen sich durch Lageranordnungen drehbar in den Lagerschilden 4, 5 ab. Im ersten Lagerschild 4 befinden sich ein Loslager 22 der ersten Welle 10 und ein Loslager 26 der zweiten Welle 14. Im zweiten Lagerschild 5 befinden sich ein Festlager 24 der ersten Welle 10 und ein Festlager 28 der zweiten Welle 14.

[0031] Auf einer dem Pumpraum 2 abgewandten Seite des ersten Lagerschildes 4 ist ein Getrieberaum 3 vorgesehen, in den die Enden von erster und zweiter Welle 10, 14 hineinragen. Auf den Wellenenden sitzen ein erstes und ein zweites Synchronrad 18, 20, welches die Drehung der ersten Welle 10 auf die zweite Welle 14 überträgt, so dass diese sich mit gleicher Drehzahl, aber gegenläufig dreht. Eine erste Schleuderscheibe 30 taucht in einen Schmiermittelvorrat und verteilt das Schmiermittel im Getrieberaum 3.

[0032] Auf der dem Pumpraum 2 abgewandten Seite des zweiten Lagerschilds 5 befindet sich ein Zwischenraum 8. Dieser wird von der ersten Welle 10 durchsetzt, während die zweite Welle 14 in ihm endet. Auf dem Ende der zweiten Welle 14 ist eine zweite Schleuderscheibe 32 angeordnet, die ebenfalls in einem Schmiermittelvorrat eintaucht und eine Verteilung des Schmiermittels im Zwischenraum bewirkt.

[0033] Das den Zwischenraum durchsetzende Ende der ersten Welle 10 endet in einem Motorgehäuse 6. Dort sind auf dem Wellenende Innenmagnete 44 befestigt. Das Wellenende mit den Innenmagneten 44 ist von einem Spalttopf 40 umgeben, der mittels eines Spalttopfflansches am Gehäuse 6 luftdicht angebracht ist. Ein Magnetträger 48 trägt Außenmagnete 46, die mit den Innenmagneten 44 kraft- und drehungsübertragend zusammenwirken. Der Magnetträger 48 ist auf einer Motorwelle 50 angeordnet, welche in einem Motorlager 52 gelagert ist. Die ebenfalls auf der Motorwelle 50 angeordneten Motormagnete 54 wirken mit Spulen 56 zusammen, um elektrische Energie in mechanische Drehung umzusetzen. Spulen und Motormagnete bilden den Antrieb der Wälzkolbenpumpe 100.

[0034] In den Lagerschilden 4, 5 sind Wellendurchführungen 34, 36, 38, 42 vorgesehen, die in Fig. 1 nicht näher dargestellt sind.

[0035] Die Wellendurchführungen 34, 36, 38, 42 sind gleich aufgebaut. Die Wellendurchführung 34 ist in Fig. 2 dargestellt.

[0036] Auf der Welle 14 ist eine Buchse 58 angeordnet. In der Fig. 2 ist links der Schöpfraum dargestellt und rechts der Getrieberaum 3. Es könnte sich in der Fig. 2 auch um die Wellendurchführung 38 oder 42 handeln. Dann wäre links der Schöpfraum 2 und rechts der Zwischenraum 8 angeordnet.

[0037] Die Wellendurchführung 34 weist zum einen schöpfraumseitig eine Lippendichtung 60 auf und getrieberaum- oder lagerraumseitig zwei Kolbenringdichtungen 62, 64. Die Kolbenringdichtungen 62, 64 sind als rechteckförmige Dichtungen ausgebildet und sind entsprechend in rechteckförmigen Nuten 66 der Wellendurchführung 34 angeordnet.

[0038] Zusätzlich ist ein Sperrgaseinlass 68 vorgesehen, um einen Raum 70, der zwischen Lippendichtung 60 und Kolbenringdichtung 62 liegt, mit Sperrgas zu füllen.

[0039] Die Lippendichtung 60, die schöpfraumseitig angeordnet ist, ist unempfindlich gegenüber Staubpartikeln und weist eine gute Drosselwirkung gegenüber Kondensat und Gasen auf, die Bestandteil des zu fördernden Mediums in dem Schöpfraum 2 sind.

[0040] Das Sperrgas hat den Vorteil, dass es darüber hinaus Gas aus dem Schöpfraum 2 daran hindert, in Richtung Lager- oder Getrieberaum 3 zu wandern.

[0041] Der Raum 70 ist relativ klein ausgebildet im Vergleich zu dem Getriebe- und Lagerraum 3, so dass der Raum 70, der mit Sperrgas gefüllt wird, ein kleineres Volumen als der Getriebe- oder Lagerraum 3 aufweist. Hierdurch wird der Verbrauch an Sperrgas deutlich reduziert.

[0042] Die Lippendichtung 60 weist eine sehr gute Drosselwirkung auf. Hinter der Lippendichtung 60 in Richtung Lager- oder Getrieberaum 3 ist das Sperrgas angeordnet, welches in Richtung des Schöpfraumes einen Druck aufbaut, so dass aus dem Schöpfraum wenig Gas in Richtung Lager- oder Getrieberaum 3 wandert.

[0043] Die Lippendichtung 60 ist derart angeordnet, dass durch den höheren Druck im Schöpfraum 2 die Lippendichtung 60 gegen die Buchse 58 gedrückt wird.

[0044] Die Kolbenringe 62, 64 begrenzen auf der anderen Seite, das heißt lager- und getrieberaumseitig den Raum, der mit Sperrgas gefüllt ist. Die Kolbenringdichtungen 62, 64 erzeugen die erforderliche Drosselwirkung.

[0045] Die Kolbenringe 62, 64 weisen darüber hinaus Notlaufeigenschaften auf. Sie weisen weiterhin den Vorteil auf, dass sie einfach zu montieren sind.

[0046] Der Sperrgasstrom kühlt die Lippendichtung 60, da durch Drehung der Welle 14 Reibungswärme entsteht.

[0047] Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird wirksam vermieden, dass Staubpartikel, Gase oder Kondensat aus dem Schöpfraum 2 in den Getriebe- und Lagerraum 3 gelangen, in dem sich Schmiermittel befinden, die sich chemisch durch Kondensat und Gase verändern oder durch Staubpartikel verunreinigt werden können.

[0048] Eine Lippe 72 der Lippendichtung ist in Richtung Schöpfraum 2 weisend angeordnet. Hierdurch ist gewährleistet, dass Gas aus dem Schöpfraum 2, welches in Richtung des Raumes 70 und damit in Richtung des Getriebe- oder Lagerraumes 3 gelangen möchte, die Lippe 72 der Lippendichtung 60 an die Welle 14 oder Buchse 58 presst, wodurch die Drosselwirkung der Lippendichtung 60 erhöht wird.

Bezugszahlen

[0049] 

1

Gehäuse

2

Pumpenraum

3

Getrieberaum

4

Lagerschild

5

Lagerschild

6

Motorgehäuse

8

Zwischenraum

10

Welle

12

Kolben

14

Welle

16

Kolben

18

Synchronrad

20

Synchronrad

22

Loslager

24

Festlager

26

Loslager

28

Festlager

30

Schleuderscheibe

32

Schleuderscheibe

34

Wellendurchführung

36

Wellendurchführung

38

Wellendurchführung

40

Spalttopf

42

Wellendurchführung

44

Innenmagnete

46

Außenmagnete

48

Magnetträger

50

Motorwelle

52

Motorlager

54

Motormagnete

56

Spulen

58

Buchse

60

Lippendichtung

62

Kolbenringdichtung

64

Kolbenringdichtung

66

Nuten

68

Sperrgaseinlass

70

Raum

72

Lippe

100

Pumpe

Ansprüche

1. Vakuumpumpe mit wenigstens einer ein- oder mehrstückigen Welle (10), welche mit wenigstens einer Lageranordnung (22, 24, 26, 28) drehbar gelagert ist, einem Schöpfraum (2) und einem Lager- und/oder Getrieberaum (3) zur Anordnung der wenigstens einen Lageranordnung (22, 24, 26, 28), mit einer Dichtungsanordnung (60, 62, 64) zur Durchführung der ein- oder mehrstückigen Welle (10) zwischen Schöpfraum (2) und Lager- oder Getrieberaum (3),wobei die Dichtungsanordnung (60, 62, 64) zur Durchführung der wenigstens einen ein- oder mehrstückigen Welle (10, 14) eine erste Dichtung aufweist, die als Lippendichtung (60) ausgebildet ist, wobei eine zweite Dichtungsanordnung (62, 64) vorgesehen ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass in einem Raum (70) zwischen der ersten Lippendichtung (60) und der zweiten Dichtungsanordnung (62, 64) ein Sperrgaseinlass vorgesehen ist und dass die zweite Dichtungsanordnung (62, 64) wenigstens eine Kolbenringdichtung (62, 64) aufweist.

2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Dichtungsanordnung aus zwei Kolbenringdichtungen (62, 64) gebildet ist.

3. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenringdichtungen (62, 64) nebeneinanderliegend und mit Abstand zueinander angeordnet sind.

4. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lippendichtung (60) schöpfraumseitig angeordnet ist.

5. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Dichtungsanordnung (62, 64) lager- oder getrieberaumseitig angeordnet ist.

6. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lippendichtung (60) als eine an der Welle (10, 14) oder an einer auf der Welle (10, 14) angeordneten Buchse (58) anliegend ausgebildet ist.

7. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lippe (72) der Lippendichtung (60) in Richtung Schöpfraum (2) weisend angeordnet ist.

8. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (10, 14) wenigstens im Bereich der Anlage der Lippendichtung (60) beschichtet ist.

9. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Buchse (58) wenigstens im Bereich der Anlage der Lippendichtung (60) beschichtet ist.

10. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Gegenlauffläche der Lippendichtung (60) einen Drall aufweist.

11. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe (100) als Wälzkolbenpumpe ausgebildet ist.

Claims

1. A vacuum pump with at least one single- or multiple-part shaft (10), which is rotatably mounted by at least one bearing arrangement (22, 24, 26, 28), a pump chamber (2) and a bearing and/or gear chamber (3) for the arrangement of the at least one bearing arrangement (22, 24, 26, 28), with a sealing arrangement (60, 62, 64) for leading through the single- or multiple-part shaft (10) between pump chamber (2) and bearing or gear chamber (3), wherein the sealing arrangement (60, 62, 64) for leading through the single- or multiple-part shaft (10, 14) comprises a first seal, which is formed as a lip seal (60), wherein there is provided a second sealing arrangement (62, 64),
characterised in that
in a space (70) between the first lip seal (60) and the second sealing arrangement (62, 64) there is provided a sealing gas inlet and in that the second sealing arrangement (62, 64) comprises at least one piston ring seal (62, 64).

2. A vacuum pump according to claim 1, characterised in that the second sealing arrangement is formed of two piston ring seals (62, 64).

3. A vacuum pump according to either one of the preceding claims, characterised in that the piston ring seals (62, 64) are arranged mutually adjacent at a spacing from each other.

4. A vacuum pump according to any one of the preceding claims, characterised in that the lip seal (60) is arranged at the vacuum chamber side.

5. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that the second sealing arrangement (62, 64) is arranged at the bearing or gear chamber side.

6. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that the lip seal (60) is configured to abut the shaft (10, 14) or a bushing (58) arranged on the shaft (10, 14).

7. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that a lip (72) of the lip seal (60) is arranged to be oriented in the direction of the vacuum chamber (2).

8. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that the shaft (10, 14) is coated at least in the region of the abutting of the lip seal (60).

9. A vacuum pump according to claim 6, characterised in that the bushing (58) is coated at least in the region of the abutting of the lip seal (60).

10. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that a counter face of the lip seal (60) comprises a twist.

11. A vacuum pump according to any of the preceding claims, characterised in that the vacuum pump (100) is formed as a Roots pump.

Revendications

1. Pompe à vide comprenant au moins un arbre (10) en une ou plusieurs parties, lequel est monté à rotation avec au moins un arrangement de palier (22, 24, 26, 28), une chambre de compression (2) et une chambre à palier et/ou engrenage (3) destinée au montage de l'au moins un arrangement de palier (22, 24, 26, 28), comprenant un arrangement d'étanchéité (60, 62, 64) servant à faire passer l'arbre (10) en une ou plusieurs parties entre la chambre de compression (2) et la chambre à palier ou engrenage (3), l'arrangement d'étanchéité (60, 62, 64) servant à faire passer l'au moins un arbre (10, 14) en une ou plusieurs parties possédant une première garniture d'étanchéité qui est réalisée sous la forme d'une garniture d'étanchéité à lèvre (60), un deuxième arrangement d'étanchéité (62, 64) étant présent,
caractérisée en ce
qu'une entrée de gaz d'arrêt se trouve dans un espace (70) entre la première garniture d'étanchéité à lèvre (60) et le deuxième arrangement d'étanchéité (62, 64) et en ce que le deuxième arrangement d'étanchéité (62, 64) possède au moins une garniture d'étanchéité à segment de piston (62, 64).

2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que le deuxième arrangement d'étanchéité est constitué de deux garnitures d'étanchéité à segment de piston (62, 64).

3. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les garnitures d'étanchéité à segment de piston (62, 64) sont disposées l'une à côté de l'autre et avec un écart l'une par rapport à l'autre.

4. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la garniture d'étanchéité à lèvre (60) est disposée du côté de la chambre de compression.

5. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le deuxième arrangement d'étanchéité (62, 64) est disposé du côté de la chambre à palier ou engrenage.

6. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la garniture d'étanchéité à lèvre (60) est réalisée appliquée contre l'arbre (10, 14) ou contre une douille (58) montée sur l'arbre (10, 14).

7. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'une lèvre (72) de la garniture d'étanchéité à lèvre (60) est disposée orientée en direction de la chambre de compression (2).

8. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'arbre (10, 14) est muni d'un revêtement au moins dans la zone dans laquelle est appliquée la garniture d'étanchéité à lèvre (60).

9. Pompe à vide selon la revendication 6, caractérisée en ce que la douille (58) est munie d'un revêtement au moins dans la zone dans laquelle est appliquée la garniture d'étanchéité à lèvre (60).

10. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'une surface de rotation antagoniste de la garniture d'étanchéité à lèvre (60) possède une torsion.

11. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la pompe à vide (100) est réalisée sous la forme d'une pompe de Roots.

Zeichnung