(19)

(11)

EP 2 951 854 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.12.2015  Patentblatt  2015/50 (21) Anmeldenummer: 13779567.0 (22) Anmeldetag:  17.10.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/02(2006.01) H01L 21/78(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/071752 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/117878 (07.08.2014 Gazette  2014/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 30.01.2013 DE 102013201510 (71) Anmelder: Fraunhofer-ges. zur Förderung der Angewandten Forschung E.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: TEMMLER, Dietmar 01109 Dresden (DE) KIRCHHOFF, Volker 01829 Wehlen (DE) METZNER, Christoph 01328 Dresden (DE) HEINSS, Jens-Peter 01309 Dresden (DE)