(19)
(11) EP 2 954 372 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.10.2014

(43) Veröffentlichungstag:
16.12.2015  Patentblatt  2015/51

(21) Anmeldenummer: 14702598.5

(22) Anmeldetag:  04.02.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03B 19/14(2006.01)
C03B 20/00(2006.01)
G02B 5/08(2006.01)
 C03B 32/00(2006.01)
C03C 3/06(2006.01)
G03F 7/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/052106
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/122111 (14.08.2014 Gazette  2014/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 11.02.2013 DE 102013101328

(71) Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • THOMAS, Stephan
    63538 Großkrotzenburg (DE)
  • BECKER, Klaus
    63452 Hanau (DE)
  • OCHS, Stefan
    63751 Gelnhausen (DE)

(74) Vertreter: Staudt, Armin Walter 
Patentanwalt Sandeldamm 24a
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) ROHLING AUS TiO2-SiO2-GLAS FÜR EIN SPIEGELSUBSTRAT FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE SOWIE VERFAHREN FÜR DESSEN HERSTELLUNG