(19)

(11)

EP 2 956 566 A1

(12)

(43) Date de publication: 23.12.2015  Bulletin  2015/52 (21) Numéro de dépôt: 14708611.0 (22) Date de dépôt:  04.02.2014

(51) Int. Cl.:  C23C 10/48(2006.01) C23C 10/56(2006.01) C23C 10/52(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2014/050193 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/125187 (21.08.2014 Gazette  2014/34)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 13.02.2013 FR 1351227 (71) Demandeurs: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75007 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 75794 Paris Cedex 16 (FR) Université de Lorraine 54000 Nancy (FR)

(72) Inventeurs: RICHET, Nicolas F-78330 Fontenay-Le-Fleury (FR) MAZET, Thierry F-54000 Nancy (FR) VILASI, Michel F-54136 Bouxieres Aux Dames (FR) MATHIEU, Stéphane F-54600 Villers Les Nancy (FR) (74) Mandataire: Beroud, Amandine  L'AIR LIQUIDE S.A. Direction de la Propriété Intellectuelle 75 Quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 75321 Paris Cedex 07 (FR)