(19)
(11) EP 2 958 869 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.11.2014

(43) Veröffentlichungstag:
30.12.2015  Patentblatt  2015/53

(21) Anmeldenummer: 14705187.4

(22) Anmeldetag:  19.02.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C03C 4/00(2006.01)
C03B 19/01(2006.01)
C03B 32/00(2006.01)
G02B 1/02(2006.01)
 C03B 19/14(2006.01)
C03B 20/00(2006.01)
G02B 1/00(2006.01)
C03C 3/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/053199
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/128148 (28.08.2014 Gazette  2014/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 20.02.2013 DE 102013101687

(71) Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • KUEHN, Bodo
    63571 Gelnhausen (DE)

(74) Vertreter: Staudt, Armin Walter 
Sandeldamm 24a
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) OPTISCHES BAUTEIL AUS QUARZGLAS ZUR VERWENDUNG IN DER ArF-EXCIMERLASER-LITHOGRAPHIE SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES BAUTEILS