(19)

(11)

EP 2 964 804 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.01.2016  Patentblatt  2016/02 (21) Anmeldenummer: 14711149.6 (22) Anmeldetag:  10.03.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/52(2006.01) C23C 16/30(2006.01) C23C 16/04(2006.01) C23C 16/48(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/000617 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/135283 (12.09.2014 Gazette  2014/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 08.03.2013 DE 102013004116 (71) Anmelder: Johann Wolfgang Goethe-Universität 60323 Frankfurt am Main (DE)	(72) Erfinder: HUTH, Michael 61250 Usingen (DE) SCHWALB, Christian 61440 Oberursel (DE) WINHOLD, Marcel 63579 Frei ericht (DE) WEIRICH, Paul, Martin 61273 Wehrheim (DE) (74) Vertreter: Schmid, Nils T.F.  Boehmert & Boehmert Anwaltspartnerschaft mbB Patentanwälte Rechtsanwälte Pettenkoferstrasse 20-22 80336 München 80336 München (DE)