(19)
(11) EP 2 976 608 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.01.2016  Patentblatt  2016/04

(21) Anmeldenummer: 14709681.2

(22) Anmeldetag:  13.03.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/04(2006.01)
G01J 5/34(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
 G01J 5/02(2006.01)
G01J 5/08(2006.01)
H01L 37/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/054938
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/146965 (25.09.2014 Gazette  2014/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 19.03.2013 DE 102013204763

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BISCHOPINK, Georg
    72124 Pliezhausen (DE)
  • SCHELLING, Christoph
    70597 Stuttgart (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHE SENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN