(19)

(11)

EP 2 976 782 A1

(12)

(43) Date de publication: 27.01.2016  Bulletin  2016/04 (21) Numéro de dépôt: 14711268.4 (22) Date de dépôt:  20.03.2014

(51) Int. Cl.:  H01L 21/223(2006.01) H01L 29/10(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2014/055621 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/147185 (25.09.2014 Gazette  2014/39)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 20.03.2013 FR 1300650 (71) Demandeur: Ion Beam Services 13790 Peynier (FR)	(72) Inventeurs: BECHEVET, Bernard F-74420 Habère-Poche (FR) JOURDAN, Johann F-73000 Chambéry (FR) (74) Mandataire: Renaud-Goud, Thierry  Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny 13100 Aix-en-Provence 13100 Aix-en-Provence (FR)