(19)

(11)

EP 2 979 293 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.02.2016  Patentblatt  2016/05 (21) Anmeldenummer: 14711938.2 (22) Anmeldetag:  07.03.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 35/04(2006.01) H01J 35/16(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/054407 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/177308 (06.11.2014 Gazette  2014/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 03.05.2013 DE 102013208103 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: GOSSMANN, Svetlana 91052 Erlangen (DE) HEID, Oliver 91052 Erlangen (DE) HUGHES, Timothy OX12 7AU Wantage (GB)