(19)

(11)

EP 2 979 296 A1

(12)

(43) Date de publication: 03.02.2016  Bulletin  2016/05 (21) Numéro de dépôt: 14718659.7 (22) Date de dépôt:  21.03.2014

(51) Int. Cl.:  H01L 21/62(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2014/050666 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/154978 (02.10.2014 Gazette  2014/40)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 29.03.2013 FR 1300738 (71) Demandeur: Soitec 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: KERDILES, Sébastien F-38330 Saint Ismier (FR) CHABANNE, Guillaume F-38190 Froges (FR) BOEDT, François F-38240 Meylan (FR) (74) Mandataire: Fidal Innovation  Tour Prisma 4/6 avenue d'Alsace 92982 Paris La Défense Cedex 92982 Paris La Défense Cedex (FR)