(19)
(11) EP 2 982 779 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.04.2016  Patentblatt  2016/16

(43) Veröffentlichungstag A2:
10.02.2016  Patentblatt  2016/06

(21) Anmeldenummer: 15176214.3

(22) Anmeldetag:  10.07.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C25D 3/02(2006.01)
C25D 9/08(2006.01)
C25D 5/20(2006.01)
 C25D 7/00(2006.01)
C25D 5/18(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 05.08.2014 AT 505482014

(71) Anmelder: Happy Plating GmbH
2700 Wiener Neustadt (AT)

(72) Erfinder:
  • MANN, Rudolf
    1140 WIEN (AT)
  • HANSAL, Wolfgang
    2753 MARKT PIESTING (AT)

(74) Vertreter: Babeluk, Michael 
Florianigasse 26/3
1080 Wien
1080 Wien (AT)

   


(54) VERFAHREN ZUR ELEKTROCHEMISCHEN ABSCHEIDUNG HALBLEITENDER MATERIALIEN UND ELEKTROLYTEN HIERZU


(57) Die Erfindung betrifft einen Elektrolyt zur elektrochemischen Abscheidung halbleitender Materialien, insbesondere Antimonide, Arsenide, Selenide und Telluride, aus wässrigen Salzlösungen, mit einem ersten Komplexbildner, insbesondere Diethylentriaminpentaessigsäure (DTPA), sowie zumindest einem zusätzlichen Komplexbildner, wobei der zumindest eine zusätzliche Komplexbildner eine Tricarbonsäure und/oder eine Aminocarbonsäure ist, sowie ein Verfahren hierzu.







Recherchenbericht





















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