(19)
(11) EP 2 984 202 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.02.2016  Patentblatt  2016/07

(21) Anmeldenummer: 14724502.1

(22) Anmeldetag:  04.04.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/02(2006.01)
C23C 4/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2014/060422
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/167468 (16.10.2014 Gazette  2014/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 12.04.2013 DE 102013103693

(71) Anmelder: Maschinenfabrik Reinhausen GmbH
93059 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • NETTESHEIM, Stefan
    12205 Berlin (DE)
  • KORZEC, Dariusz
    93173 Wenzenbach (DE)

(74) Vertreter: Reichert & Lindner Partnerschaft Patentanwälte 
Bismarckplatz 8
93047 Regensburg
93047 Regensburg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUFBAU EINER STRUKTUR AUF EINEM SUBSTRAT