(19)
(11) EP 2 986 753 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
19.06.2019  Patentblatt  2019/25

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
20.03.2019  Patentblatt  2019/12

(21) Anmeldenummer: 14718326.3

(22) Anmeldetag:  14.04.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/32(2006.01)
 H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/000989
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/170003 (23.10.2014 Gazette  2014/43)

(54)

FUNKENVERDAMPFEN VON METALLISCHEN, INTERMETALLISCHEN UND KERAMISCHEN TARGETMATERIALIEN UM AL-CR-N BESCHICHTUNGEN HERZUSTELLEN

ARC DEPOSITION OF METAL, INTERMETALLIC, AND CERAMIC TARGET MATERIALS IN ORDER TO PRODUCE AL-CR-N COATINGS

DÉPÔT PAR ÉTINCELAGE DE MATÉRIAUX CIBLES MÉTALLIQUES, INTERMÉTALLIQUES ET CÉRAMIQUES POUR PRODUIRE DES REVÊTEMENTS EN AL CR N

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 18.04.2013 DE 102013006633

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
24.02.2016  Patentblatt  2016/08

(73) Patentinhaber: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
8808 Pfäffikon (CH)

(72) Erfinder:
  • SABITZER, Corinna
    A-9414 Launsdorf (AT)
  • PAULITSCH, Joerg
    A-2514 Möllersdorf (AT)
  • POLCIK, Peter
    A-6600 Reutte (AT)
  • MAYRHOFER, Paul, Heinz
    A-7311 Neckenmarkt (AT)
  • RACHBAUER, Richard
    6800 Feldkirch (AT)
  • ARNDT, Mirijam
    7310 Bad Ragaz (CH)

(74) Vertreter: Misselhorn, Hein-Martin 
Patent- und Rechtsanwalt Donaustrasse 6
85049 Ingolstadt
85049 Ingolstadt (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
CH-A5- 693 035
JP-A- 2001 226 764
 DE-A1-102010 042 828
JP-A- 2010 236 060
   
  • BRIAN GABBITAS ET AL: "Microstructural evolution during mechanical milling of Ti/Al powder mixture and production of intermetallic TiAl cathode target", JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS, BO, Bd. 47, Nr. 3, 7. September 2011 (2011-09-07), Seiten 1234-1243, XP019993186, ISSN: 1573-4803, DOI: 10.1007/S10853-011-5886-9
  • , Retrieved from the Internet: URL:https://de.wikipedia.org/wiki/Intermet allische_Verbindung [retrieved on 2017-10-26]
  • , Retrieved from the Internet: URL:https://de.wikipedia.org/wiki/Legierun g [retrieved on 2017-10-26]
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).