(19)
(11) EP 2 989 450 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.03.2016  Patentblatt  2016/09

(21) Anmeldenummer: 14720545.4

(22) Anmeldetag:  22.04.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 22/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/058127
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/173889 (30.10.2014 Gazette  2014/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 23.04.2013 EP 13164853
24.06.2013 EP 13173399

(71) Anmelder: BASF SE
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • WAGLÖHNER, Steffen
    76669 Bad Schönborn (DE)
  • HENNIG, Ingolf
    68809 Neulußheim (DE)

(74) Vertreter: Kudla, Karsten 
Isenbruck Bösl Hörschler LLP Patentanwälte Eastsite One Seckenheimer Landstrasse 4
68163 Mannheim
68163 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON ABLAGERUNGEN IM INNEREN EINES APPARATS UNTER VERWENDUNG VON MIKROWELLENSTRAHLUNG