(19)
(11) EP 2 994 935 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2016  Patentblatt  2016/11

(21) Anmeldenummer: 13734099.8

(22) Anmeldetag:  05.07.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/60(2006.01)
H01L 21/66(2006.01)
 H01L 23/488(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/064239
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/000527 (08.01.2015 Gazette  2015/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • REBHAN, Bernhard
    A-4680 Haag a. H. (AT)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BONDEN VON METALLISCHEN KONTAKTFLÄCHEN UNTER LÖSEN EINER AUF EINER DER KONTAKTFLÄCHEN AUFGEBRACHTEN OPFERSCHICHT IN MINDESTENS EINER DER KONTAKTFLÄCHEN