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(11) | EP 3 002 638 A3 |
| (12) | DEMANDE DE BREVET EUROPEEN |
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| (54) | PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RESSORT SPIRAL THERMOCOMPENSÉ |
| (57) Procédé de fabrication d'un oscillateur mécanique (1) destiné à équiper un résonateur
mécanique d'un mouvement d'horlogerie, un senseur MEMS ou un autre instrument de précision;
l'oscillateur (1) comprenant une âme (2) fabriquée dans un matériau ayant un premier
coefficient thermoélastique (β1) et un revêtement périphérique (4) en un oxyde présentant
un second coefficient thermoélastique (β2); le procédé comprenant la déposition du revêtement (4) à une température qui reste
inférieure ou égale à 500°C, et un traitement thermique de recuit du revêtement (4)
à une température d'au moins 550°C, afin d'ajuster le second coefficient thermoélastique
(β2) du revêtement (4) pour que ce dernier compense l'effet de la variation du premier
coefficient thermoélastique (β1) de l'âme avec la température.
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