(19)

(11)

EP 3 004 818 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.04.2016  Patentblatt  2016/15 (21) Anmeldenummer: 14728142.2 (22) Anmeldetag:  27.05.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 1/42(2006.01) H01L 27/14(2006.01) G01J 5/20(2006.01) H01L 31/101(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/060930 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/195185 (11.12.2014 Gazette  2014/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 07.06.2013 DE 102013210594 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: FEYH, Ando Palo Alto, CA 94306 (US)