(19)
(11) EP 3 008 435 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.04.2016  Patentblatt  2016/16

(21) Anmeldenummer: 14730161.8

(22) Anmeldetag:  13.06.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/08(2006.01)
G01J 5/52(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
 G01J 5/00(2006.01)
F28F 13/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/062408
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/198912 (18.12.2014 Gazette  2014/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 13.06.2013 DE 102013009925

(71) Anmelder: Centrotherm Photovoltaics AG
89143 Blaubeuren (DE)

(72) Erfinder:
  • ZERNICKEL, Dieter
    73340 Amstetten (DE)
  • MUELLER, Steffen
    89077 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Wimmer, Hubert 
WAGNER & GEYER Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) MESSOBJEKT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN UND VORRICHTUNG ZUM THERMISCHEN BEHANDELN VON SUBSTRATEN