(19)
(11) EP 3 011 807 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.04.2016  Patentblatt  2016/17

(21) Anmeldenummer: 14744363.4

(22) Anmeldetag:  29.07.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/46(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/066277
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/014839 (05.02.2015 Gazette  2015/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 02.08.2013 DE 102013215252

(71) Anmelder: Eeplasma GmbH
82024 Taufkirchen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHNEIDER, Stephan
    85617 Dorfen (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON PROZESSGASEN IN EINEM PLASMA ANGEREGT DURCH ELEKTROMAGNETISCHE WELLEN HOHER FREQUENZ