(19)

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EP 3 019 640 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 18.05.2016  Patentblatt  2016/20 (21) Anmeldenummer: 14739679.0 (22) Anmeldetag:  09.07.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/08(2006.01) C23C 14/00(2006.01) H01J 37/34(2006.01) C23C 14/34(2006.01) C23C 14/35(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/001884 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/003806 (15.01.2015 Gazette  2015/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 09.07.2013 US 201361843998 P (71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach 9477 Trübbach (CH)	(72) Erfinder: HAGMANN, Juerg CH-9468 Sax (CH) KRASSNITZER, Siegfried A-6800 Feldkirch (AT) (74) Vertreter: Misselhorn, Hein-Martin  Patent- und Rechtsanwalt Donaustrasse 6 85049 Ingolstadt 85049 Ingolstadt (DE)