| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
| (30) |
Priorität: |
10.07.2013 DE 102013213501
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| (71) |
Anmelder: |
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- Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
07745 Jena (DE)
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| (72) |
Erfinder: |
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- FEDOSENKO, Gennady
73433 Aalen (DE)
- ALIMAN, Michel
73447 Oberkochen (DE)
- CHUNG, Hin Yiu Anthony
89075 Ulm (DE)
- RANCK, Albrecht
73431 Aalen (DE)
- GORKHOVER, Leonid
89075 Ulm (DE)
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| (74) |
Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte |
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Partnerschaftsgesellschaft mbB
Ruppmannstraße 27
70565 Stuttgart
70565 Stuttgart (DE) |
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