(19)

(11)

EP 3 024 617 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 09.04.2015 (43) Veröffentlichungstag: 01.06.2016  Patentblatt  2016/22 (21) Anmeldenummer: 14738777.3 (22) Anmeldetag:  01.07.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B23K 26/40(2014.01) C03B 33/09(2006.01) B23K 26/14(2006.01) C03B 33/02(2006.01) B23K 26/00(2014.01) B23K 26/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/063972 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/010862 (29.01.2015 Gazette  2015/04)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 23.07.2013 WO PCT/EP2013/002191 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE) 3D-Micromac AG 09126 Chemnitz (DE)	(72) Erfinder: KOITZSCH, Matthias 91052 Erlangen (DE) LEWKE, Dirk 91056 Erlangen (DE) TOBISCH, Alexander 91054 Erlangen (DE) ZÜHLKE, Hans-Ulrich 07743 Jena (DE) ALLENSTEIN, Frank 09116 Chemnitz (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB  Kronenstraße 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)