(19)
(11) EP 3 027 785 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.04.2015

(43) Veröffentlichungstag:
08.06.2016  Patentblatt  2016/23

(21) Anmeldenummer: 14744331.1

(22) Anmeldetag:  28.07.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/32(2006.01)
 H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/066141
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/014775 (05.02.2015 Gazette  2015/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 29.07.2013 US 201361859584 P
11.07.2014 US 201414328887

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • MACK, Helmut
    83278 Traunstein (DE)
  • ALBERT, Philipp
    79539 Lörrach (DE)
  • BORUP, Björn
    60385 Frankfurt (DE)
  • SAXENA, Anil K
    Morris Plains, New Jersey NJ 07950 (US)

   


(54) FLEXIBLER VERBUND, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND DESSEN VERWENDUNG