(19)
(11) EP 3 032 107 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
31.08.2016  Patentblatt  2016/35

(43) Veröffentlichungstag A2:
15.06.2016  Patentblatt  2016/24

(21) Anmeldenummer: 15191438.9

(22) Anmeldetag:  26.10.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 29/54(2006.01)
 F04D 29/32(2006.01)
F04D 29/64(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 08.12.2014 DE 102014118083

(71) Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Bader, Florian
    35625 Hüttenberg (DE)
  • Hofmann, Jan
    35305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARPUMPE


(57) Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest einen um eine Achse (34) drehbar gelagerten Schaufelrotor (12) umfasst, wobei eine den Schaufelrotor (12) zumindest teilweise umgebende Wand (16) auf wenigstens einem pumpwirksamen Teilbereich ihrer dem Schaufelrotor (12) zugewandten Seite mit zumindest einer Vertiefung versehen ist. Ferner betrifft die Erfindung eine Turbomolekularpumpemit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest in einem Teilaxialbereich von einem Holweckstator umgeben ist, dessen pumpwirksame Seite dem Schaufelrotor (12) der Turbomolekularpumpstufe zugewandt ist.







Recherchenbericht















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