| (19) |
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(11) |
EP 3 034 882 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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26.10.2016 Patentblatt 2016/43 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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22.06.2016 Patentblatt 2016/25 |
| (22) |
Anmeldetag: 23.11.2015 |
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| (51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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MA MD |
| (30) |
Priorität: |
17.12.2014 DE 102014118881
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| (71) |
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH |
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35614 Asslar (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Hofmann, Bernd
35578 Wetzlar (DE)
- Hofmann, Jan
35305 Grünberg (DE)
- Mekota, Mirko
35630 Ehringhausen (DE)
- Schnarr, Johannes
35625 Rechtenbach (DE)
- Schweighöfer, Michael
35641 Schöffengrund (DE)
- Stoll, Tobias
35644 Hohenahr (DE)
- Vorwerk, Peter
35630 Ehringshausen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR |
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Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE) |
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(57) Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einem Pumpmechanismus
zum Pumpen von Gas längs eines von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe
verlaufenden Pumpkanals, wobei der Pumpkanal durch wenigstens einen ersten Spalt verläuft,
in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe eine Pumpfunktion erfüllt wird, und wobei
wenigstens ein zweiter Spalt vorgesehen ist, in welchem beim Betrieb der Vakuumpumpe
keine Pumpfunktion erfüllt wird, wobei bevorzugt der Pumpkanal durch den zweiten Spalt
verläuft, ist dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Spalt zumindest um einen Faktor,
insbesondere 2-mal, 3-mal, 4-mal, 5-mal, 6-mal, 7-mal, 8-mal, 9-mal oder 10-mal, größer
ist als der erste Spalt.