(19)
(11) EP 3 036 754 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2016  Patentblatt  2016/26

(21) Anmeldenummer: 14755652.6

(22) Anmeldetag:  22.08.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/067897
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/025032 (26.02.2015 Gazette  2015/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 23.08.2013 DE 102013014147

(71) Anmelder:
  • Centrotherm Photovoltaics AG
    89143 Blaubeuren (DE)
  • HQ-Dielectrics GmbH
    89156 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • KEGEL, Wilhelm
    89150 Laichingen (DE)
  • LERCH, Wilfried
    89160 Dornstadt (DE)
  • NIESS, Jürgen
    89567 Sontheim (DE)
  • SACHER, Nicole
    89160 Dornstadt (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Partnerschaft Patent- und Rechtsanwälte Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM DETEKTIEREN EINER PLASMAZÜNDUNG